标准编号：EN 62047-13-2012
标准名称：半导体装置.微机电装置.第13部分:测量MEMS结构粘接强度的折弯和剪切试验方法(IEC 62047-13-2012).德文版本EN 62047-13-2012
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012); German version EN 62047-13:2012
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2012-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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