标准编号：EN 62047-14-2012
标准名称：半导体装置.微电机装置.第14部分:金属薄膜材料的成型极限测量方法(IEC 62047-14-2012).德文版本EN 62047-14-2012
英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012); German version EN 62047-14:2012
发布部门：欧洲标准化委员会(CEN)
发布日期：
实施日期：2012-10-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
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