标准编号:ISO 12406-2010
标准名称:表面化学分析 二次离子质谱分析法 硅中砷的深度剖析法
英文名称:Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Method for depth profiling of arsenic in silicon
发布部门:
发布日期:2010-11-15
实施日期:2010-11-15
标准状态:现行
文件格式:PDF
站内资源均来自网友分享或网络收集整理,若无意中侵犯到您的权利,敬请联系我们,我们将及时删除相关资源。