SJ/T 11829.1-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1 部分：管式 PECVD 设备

taizhou_qy · 发表于 2023-10-18 11:29:04

本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。
本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备，产品主要用
于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。
标准编号：SJ/T 11829.1-2022
标准名称：晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备第1 部分：管式 PECVD 设备
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-01-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：17页
文件大小：6.02MB

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